通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發下產生的熒光發射強度，來確定待測元素含量的方法。原子熒光光譜儀主要由激發光源、原子化器、光學系統和檢測器四部分組成。主要用來檢測環境樣品中的砷、汞、硒、銻、鉍等元素。尤其對于砷、汞元素、檢出限低、靈敏度高、干擾少、并且線性范圍較寬。檢測一個元素僅需要幾分鐘，分析時間短。是環境分析中較為常見的檢測儀器。