X熒光光譜儀，英文簡寫XRF，它是由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。在環境監測領域主要用于元素分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。