電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，英文縮寫ICP-MS，它是將ICP技術(shù)與質(zhì)譜技術(shù)結(jié)合在一起的分析儀器。在環(huán)境監(jiān)測(cè)領(lǐng)域中用于測(cè)定地下水、土壤和空氣中微量、痕量和超痕量的金屬元素，同時(shí)在科研方面還可以測(cè)定某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。其優(yōu)點(diǎn)是:具有很低的檢出限（達(dá)ng/ml或更低），基體效應(yīng)小,譜線簡單，能同時(shí)測(cè)定許多元素，動(dòng)態(tài)線性范圍寬及能快速測(cè)定同位素比值。