電感耦合等離子體質譜儀，英文縮寫ICP-MS，它是將ICP技術與質譜技術結合在一起的分析儀器。在環境監測領域中用于測定地下水、土壤和空氣中微量、痕量和超痕量的金屬元素，同時在科研方面還可以測定某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。其優點是:具有很低的檢出限（達ng/ml或更低），基體效應小,譜線簡單，能同時測定許多元素，動態線性范圍寬及能快速測定同位素比值。