根據物質基態原子蒸汽對特征輻射吸收的作用來進行金屬元素分析。根據原子化器主要分為兩大類，即火焰原子化器和電熱原子化器。前者原子化的溫度在2100℃～2400℃之間，其靈敏度可檢測到PPm級（10-6）；后者在2900℃～3000℃之間，靈敏度在PPb級（10-9）。因其靈敏度高、干擾少的特點，應用于水體、土壤及大氣等環境樣品中微量金屬元素的分析，如常見的銅、鋅、鐵、錳、鉛、鎘、鉻等元素。